為確保設備的正常運行及更長的使用壽命，請按時對設備各部分進行維護保養(yǎng)!

                                    東莞恒芯等離子體清洗機常規(guī)檢查表

1、清洗反應倉：每周最少一次清洗反應倉，建議有條件的可以每次交接班清洗；清洗時請用無塵布蘸上無水乙醇（酒精），然后擦拭電極載物板、載物板承托、反應倉內(nèi)部、反應倉與門板的接觸部位以及門板。注意：禁止拿蘸有酒精的無塵布擦拭視窗口上的玻璃表面。清洗完倉體之后，機臺空洗設置清洗時間10分鐘，空洗一遍以驅(qū)走倉體內(nèi)部的殘余污物。

2、真空密封性:檢查各連接法蘭及氣管連接處是否連接良好，檢查門板密封圈是否有斷裂。

3、電極載物板的維護：每月需要檢查下，電極載物板是否與導電銅帶    可靠連接；建議每天清潔2次電極載物板。
                                                                                                               

4、射頻電纜線的維護：射頻電纜線由射頻電源引出，經(jīng)過匹配器之后，連接到倉體,需要每月檢查下射頻電纜線上各接口是否鎖緊，若未鎖緊請鎖緊即可。

5、泵組維護保養(yǎng)：泵需要每個月點檢一次油液面；每月點檢時需要查看真空泵和羅茨泵的視窗口油液以及油的顏色，油液一般介于最低線MIN和最高線MAX之間，假如發(fā)現(xiàn)液面太低則需要加油，太高則放油。另外正常的油是清潔透明的，當油呈黑褐色或者聽到泵噪音異響時則應該及時更換泵油。一般建議6-8個月需要更換油一次，更換時先將舊油放出，加入0.5L左右新油，再點動泵運行幾次，將加入的新油倒出，再重新加入新油，直至加到油液窗口MIN和MAX之間。注：真空泵加油型號#68，羅茨泵加油型號#46；水箱建議8-12個月?lián)Q一次水。

6、工作氣體的保養(yǎng)：減壓閥上方有兩個指針表，表1為出氣口壓力，一般設置0.2-0.45MPA；表2為氣瓶壓力表，檢測氣瓶內(nèi)部壓力，為0時則用完，用完之后機臺會有報警提示；旋鈕1用于調(diào)節(jié)出氣口壓力，順時針加大，逆時針減小，一般定過位置之后，不要去隨意調(diào)節(jié)黑色旋鈕，旋鈕2為開關氣閥，長時間不用的時候需關閉。

7、檢測工作氣體氣密性：

  ①先折彎出氣管;

  ②逆時針將旋鈕2關閉；

  ③查看表1，表2的指針下降情況，幾乎不動時為氣密性良好。若降的快，則漏氣，需擰緊減壓閥上的各接口，直到測試正常為止。   

  ④如上正常之后，將氣管接回機臺，重復② ③，以檢測機臺是否漏氣

  最后提醒大家，無論是進行保養(yǎng)或者維修，在這之前首先要關閉電源，做好相關的防范措施噢！東莞恒芯等離子清洗機廣泛應用于半導體（LED/IC/PCB）、3C類消費電子(手機、筆記本電腦）、航空、塑膠、汽車、生物醫(yī)學、五金等生產(chǎn)制造領域。

  東莞恒芯的理念：客戶稱心、員工開心、 股東放心。